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碳化硅微通道反應(yīng)器技術(shù)要求

發(fā)布時(shí)間:2024/8/5點(diǎn)擊次數(shù):292

碳化硅微通道反應(yīng)器質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)

1 外觀質(zhì)量要求

1.1 微反應(yīng)器的外觀無(wú)明顯缺陷。

1.2 微反應(yīng)器通道的接口處圓滑無(wú)毛刺。

1.3 微反應(yīng)器連接管道的外表面光滑、無(wú)劃傷、壓痕。

2. 技術(shù)指標(biāo)

碳化硅通道模塊及微反應(yīng)器的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1、2、表3的要求。

1 通道模塊技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目

指標(biāo)

碳化硅含量 %

≥99.5

游離硅含量 %

≤0.1

二氧化硅含量 %

≤0.3

三氧化二鐵含量 %

≤0.1

體積密度 (g/cm3)

≥3.10

導(dǎo)熱系數(shù) (W/m ·k)

≥115

氣孔率/%

≤0.1

2 碳化硅微反應(yīng)器技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目

指標(biāo)

氣密性12 MPa壓力下保持60 min的壓/MPa

≤0.1

密閉耐壓力/MPa

≥2.5

耐受溫度/℃

-40~180

3 耐腐蝕參數(shù)

腐蝕介質(zhì)

溫度

腐蝕速率  mg/(cm2 ·a)

90% H?SO?

100

≤1.8

95% H?PO?

100

≤0.2

54% HF

25

≤0.2

50% NaOH

100

≤2.5

45% KOH

100

≤0.2

70% HNO?

100

≤0.2

37% HC1

86

≤0.2

10% HF 60% HNO?

25

≤0.2









3 安全要求

3.1 微反應(yīng)器應(yīng)有安全防護(hù)外殼,在微反應(yīng)器運(yùn)行時(shí)應(yīng)保證人員無(wú)法直接觸碰到碳化硅反應(yīng)器芯片。

3.2 微反應(yīng)器應(yīng)有防液體飛濺裝置,在出現(xiàn)漏液或噴液等情況下能夠有效保護(hù)人員。

3.3 微反應(yīng)器應(yīng)有溫度顯示裝置,能顯示任意一組反應(yīng)單元的反應(yīng)溫度。

3.4 微反應(yīng)器進(jìn)、出液接口以及單元連接管路應(yīng)采用壓緊、鎖緊或螺紋式連接所有接口密封耐壓能力不應(yīng)低于5 MPa。



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